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激光干涉仪的工作原理

点击次数:2093  更新时间:2018-07-16
    高精度激光干涉仪具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

    多普勒效应(Doppler Effect: 任何形式的波传播,都是由于波源、接收器、传播介质或中间反射器的运动,会使频率发生变化的现象。这种因多普勒效应所引起的频率变化称为多普勒偏移或频移(Doppler Shift, 其频移大小与介质、波源和观察物的运动有关。XL 激光头射出的频率为 f0, 经过反射镜反射回来到激光头内的探测器,当反射镜不动时,其反射波频率 fr= f0。当反射镜以 v=dx/ dt的速度沿线性轴远离或者靠近激光头时,因为光程增加或减少了 2vt,反射波 fr的数值会减少或增加 2v /λ0,λ0为激光波长。

    通常将反射镜设定为移动光学部件,将干涉镜设定为静止部件。二者可以反过来,但是大测量距离将减少一半。因此,在超过 40m 行程的长轴上测量时,必须线性干涉镜静止不动,而另一个反射镜移动。而对行程小于 40m 的轴进行测量时,为了方便测量,可以线性干涉镜移动,也可以反射镜移动。

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