激光干涉仪的校准与精度验证以及功能及调整
点击次数：1795 更新时间：2020-02-11
激光干涉仪，即是一种以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量的工具。今天，以下是关于它的校准与精度验证以及功能及调整叙述。
激光干涉仪的校准与精度验证如下：
激光干涉仪在购置投入使用前应进行关键性能的验证。且随着使用年限的增加，激光干涉仪(包括环境补偿系统)的性能可能会因老化或使用不当出现衰退，对测量精度造成影响。因此需要定期对激光干涉仪测量系统的关键性能参数进行校准，以确保在精密测量应用中获得准确的数据结果。
根据国家计量检定规程的要求，需要对激光干涉仪激光频率、测距误差、测角误差、环境补偿传感器进行定期校准。
激光干涉仪的功能及调整如下：
1、可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
2、具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
3、内置国内外通用的标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
4、具有动态测量及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
