产品概述
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驱动器技术参数:
测量长度:up to 140 mm
定位速度:0.02 - 200 mm/s (in X)
测量速度:up to 10 mm/s
导轨直线度:0.35 µm / 60 mm,0.4 µm / 140 mm
驱动器旋转角度:±45°
轮廓测量技术参数:
测杆长度:210 mm-option; 350 mm; 490 mm-option,测杆带有芯片可被软件自动识别
轮廓分辨率:max. 6 nm (with 210 mm probe arm)
测量精度:±(1.0 + 1.25 l/100) µm; l in mm
最大测量范围:70 mm (in Z with 350 mm probe arm) max. 100 mm (with 490 mm probe arm-option)
测力:4mN-30mN软件可调
粗糙度测量技术参数:
测杆长度:45 mm; 90 mm-option; 135 mm-option
粗糙度分辨率:max. 0.2 nm
测量精度:±2%
最大测量范围:500 µm (±250 µm) for 45 mm probe arm length
1500 µm (±750 µm) for 135 mm probe arm length-option
测力:0.7mN
立柱及微调工作台技术参数:
立柱高度:350 mm
立柱定位方式:CNC全自动定位,可程序控制定位
立柱定位速度:up to 50mm/s
微调工作台尺寸:390mm x 430mm
工作台微调范围:50mm
微调工作台承重:90Kg
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